中。
而后,抛光机开始运转。
大磨盘吱呀吱哟哟地转,硅晶圆则绕着大磨盘的圆形转,同时还在自转着,这种抛光形式被称为行星式抛光。
这种方法能够让硅晶圆打磨的更加彻底。
而看着抛光机的运行,周围的所有人,也开始期待起来。
经过很长时间的打磨之后,终于,抛光机暂停了运行,然后将里面正在进行抛光的几块硅晶圆退了出来。
员工们立马将这些硅晶圆抱了出来,然后流水线中又将新的粗糙硅晶圆放了进去,抛光机再次运作,继续抛光。
当然,现在他们就不再关心抛光过程了,而是在意那些已经抛光完成的硅晶圆。
抛光结果如何,能否达到一流程度,这就是他们所关心的。
很快,他们就将这个东西拿到了旁边的测量仪器上。
硅晶圆抛光完成之后,都需要放到测量仪器上进行出厂检测,避免有次品。
以前他们的次品率比国外的都要高,就不知道换上了新磨盘材料后,他们的次品率如何。
检测方法就是利用激光干涉仪的检测表面精度,1-10nm都可以用,当然,越低越好,销路也更好,像表面精度10nm的,除非是市场硅晶圆实在短缺,否则基本上是不会有厂商买的。
不多时,检测结果出来了。
工作人员惊喜地喊道:“表明精度,全部都在4nm左右!没有次品!”
听到这个结果,在场的所有人都欢呼了起来。
罗明也是眼前一亮。
4nm精度,如果他们的抛光液再好一点,不就能整到2、3nm了吗?
当然,4nm精度,已经足够打开销路了。
“好!继续检测!”罗明笑着说道。
现在只是几块而已,还需要测试更多,才能确定最终良品率。
就这样,三天过去。
罗明也在这里呆了三天。
“这一批的精度是6nm!”
检测人员的声音再次喊出,也再一次引起了人们的欢呼。
他们的磨盘磨了三天,精度仍然能够维持在6nm,这无疑说明了他们的磨盘的耐磨性很高,相对于他们之前那种材料,简直是好的不能再好了。
“良品率呢?”
“良品率是99%。”
“嗯。”罗明点点头,心中开始思考起来。
良品率没有达到100%,是因为之前有几块硅晶圆由于提纯过程中产生的瑕疵,所以在抛光过程中出现了裂纹,所以就归类为次品了。
所以这些不属于抛光的问题,不需要考虑。
这样想的话,他们的抛光速度完全可以加快。
抛光速度越快,产量自然就越高。
想到这,罗明立马说道:“将我们的抛光速度提高到现在的倍。”
“好!”
员工听到罗明这么说,立马应道。
罗明接着便说道:“之后换上新磨盘后,咱们就继续维持在倍,之后看起来,可以提高
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